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ULVAC展示LED與LD用量產(chǎn)專用乾式蝕刻(Dry Etching)設(shè)備

2007-12-07 14:05:29 [編輯：dpliu]
ULVAC在SEMICON Japan 2007展覽中展示量產(chǎn)LED與LD的 乾式蝕刻設(shè)備「APIOS NE-950」，此設(shè)備較先前枚葉式蝕刻設(shè)備「NE-5700」生產(chǎn)效率提升。新設(shè)備可以在300 mm的托盤放入5片4吋基板，相當(dāng)于擴(kuò)大LED基板的尺寸，每10分鐘可生產(chǎn)27.5片，生產(chǎn)效率較先前的「NE-5700」設(shè)備提升5倍。并且由于光學(xué)效率的提升，可以滿足使用者在藍(lán)寶石基板上的不同需求。
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