雷射系統(tǒng)產(chǎn)品供應(yīng)商JPSA公司日前表示，其LED外延片的雷射垂直刻蝕技術(shù)已獲韓國專利，可在韓國應(yīng)用。

JPSA公司藉由提高IX-200紫外二極體泵浦固體（DPSS UV）雷射器系統(tǒng)，提高了LED藍(lán)寶石外延片切片能力。

該專利技術(shù)通過使用獨特的雷射能源分佈系統(tǒng)，實現(xiàn)狹窄切割，切割寬度可達(dá)到2.5微米，從而是切割工藝更快，外延片產(chǎn)出量更高。而且狹窄切口可使每片外延片能夠產(chǎn)出的芯片單元（die）數(shù)量更高。

據(jù)瞭解，這種新型專利技術(shù)能夠提高LED廠商加工外延片的產(chǎn)量。使用Chromadice系統(tǒng)，通過該專利程式，每小時能夠加工15片2英寸外延片。與鉆石切割及傳統(tǒng)雷射技術(shù)相比，產(chǎn)量有了顯著的提高。

IX-200 ChromaDiceT DPSS系統(tǒng)不僅是高精度外延片刻蝕系統(tǒng)，而且也適用于外延片焊接及切割應(yīng)用。

其紫外二極體泵浦固體（DPSS UV）雷射器系統(tǒng)可以執(zhí)行高速外延片劃刻，標(biāo)準(zhǔn)出片率高達(dá)99％以上，且每片外延片劃片成本不到2美元。

此外，該系統(tǒng)還可以用于彎曲或變形的外延片，適用于所有的外延片類型。