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日廠Disco開(kāi)發(fā)出用于LED藍(lán)寶石底板芯片的加工技術(shù)

2009-04-28 11:47:54 [編輯：]

日本迪思科（Disco）開(kāi)發(fā)出了用于LED的藍(lán)寶石底板芯片加工技術(shù)。該公司稱其為“藍(lán)寶石底板的Stealth Dicing Process”。其技術(shù)的特點(diǎn)是，在切割藍(lán)寶石底板時(shí)可同時(shí)兼顧LED的質(zhì)量及成品率。

原來(lái)采用金剛石劃片器切割藍(lán)寶石底板的方法有賴于操作人員的技術(shù)水平，因此在質(zhì)量穩(wěn)定性及成品率方面存在問(wèn)題。所以，利用激光成了切割藍(lán)寶石底板的主要方法，該公司此前也推出過(guò)激光劃片（Laser Scribing）裝置。采用激光劃片，可全自動(dòng)高速加工，改善成品率。不過(guò)，激光劃片加工與采用金剛石劃片器的方法相比，存在LED亮度低的問(wèn)題。因此，此次通過(guò)采用濱松光子學(xué)（Hamamatsu Photonics）的激光芯片技術(shù) “Stealth Dicing”，解決了該問(wèn)題。所以，在不降低成品率的情況下，控制了LED亮度的降低。還可切割厚100μm以上的外延片。

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