美國LED芯片龍頭Cree發(fā)布了口徑為6英寸,約150mm的SiC底板,6英寸產(chǎn)品的微管密度不超過10個(gè)/cm2,主要用于LED、高頻元件及功率半導(dǎo)體元件。
Cree目前SiC底板口徑以4英寸為主,6英寸底板不但可以提高生產(chǎn)效率,還可削減制造成本,Cree 6英寸底板量產(chǎn)后,SiC功率元件價(jià)格則有望降低。
據(jù)悉,部分廠商正在投產(chǎn)使用4英寸底板制造的SiC二極管。隨著6英寸SiC底板的普及,估計(jì)從事SiC功率元件業(yè)務(wù)的廠商也會(huì)增多。