美國化工業(yè)龍頭陶氏化學(Dow Chemical Co.)子公司Dow Electronic Materials宣布,其位于南韓天安(Cheonan)的三甲基鎵(TMG)新廠已經(jīng)動工興建,預計2011年初便可投產(chǎn)。
三甲基鎵為一種有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)的前驅(qū)物質(zhì),對于LED以及其他化合物半導體元件的生產(chǎn)極為重要。
Dow Electronic Materials指出,韓國天安新廠,為2010年6月宣布的分階段擴產(chǎn)計劃當中的一環(huán)。這項整體擴產(chǎn)計劃,年產(chǎn)能可望增加60噸。而美國現(xiàn)有廠區(qū)的產(chǎn)能擴增計劃正如期進行中,2010年底至2011年Q1間將陸續(xù)有新產(chǎn)能開出。
Dow Electronic Materials目前在美國麻州North Andover生產(chǎn)三甲基鎵與其他有機金屬前驅(qū)物,封裝工作則在North Andover與臺灣桃園兩地進行。陶氏化學與液晶玻璃基板暨光纖大廠康寧(Corning)合資公司Dow Corning Corp.在韓國Jincheon另設有一座專門生產(chǎn)LED用硅膠的工廠。