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日廠住友電工首創(chuàng)綠色雷射用2寸GaN基板量產(chǎn)技術(shù)

繼2009年研發(fā)出波長531 nm、可應(yīng)用于雷射電視及可攜式雷射投影機(jī)的原生綠色雷射技術(shù)后,日廠住友電工近日又利用自家研發(fā)的H-VPE(hydride vapor phase epitaxy)制造技術(shù),成功研發(fā)出可使用于原生(直接)綠色雷射、尺寸達(dá)2寸,位錯(cuò)密度(Dislocation density)達(dá)10的5次方的半極性及非極性氮化鎵(GaN)基板。該基板將有效增進(jìn)綠色雷射及白色LED的性能。

據(jù)悉,現(xiàn)行的制造技術(shù)僅能制作出數(shù)mm左右大小的長方形GaN基板。住友的GaN基板,突破這一量產(chǎn)元件的瓶頸,即使與現(xiàn)行已進(jìn)行量產(chǎn)的GaN基板結(jié)晶面(crystal face)相比,也毫不遜色。

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