日前，諾發(fā)公司宣布，現(xiàn)已向旭瑞光電提供了一臺VECTOR(R)型等離子增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備，新設(shè)備將被安裝在佛山旭瑞光電的生產(chǎn)車間里，用于生產(chǎn)金屬基垂直結(jié)構(gòu)高效LED。

諾發(fā)表示，新型VECTOR LED鍍膜系統(tǒng)是LED芯片制造產(chǎn)業(yè)中最具生產(chǎn)力的PECVD系統(tǒng)，包括光阻去除、物理氣相沉積、電鍍以及晶片拋光和減薄系統(tǒng)解決方案，與傳統(tǒng)LED鍍膜設(shè)備相比，VECTOR系統(tǒng)在行業(yè)處于領(lǐng)先地位，因為它擁有寬的工藝窗口和高產(chǎn)能，使LED的每晶片成本得以下降。

此外，VECTOR LED鍍膜系統(tǒng)中有一個多晶片載體裝置，能夠放置2、3、4、6、8和12英寸的不同尺寸晶片，產(chǎn)能巨大，且沉積的各尺寸薄膜質(zhì)量和均勻性都很好，且VECTOR LED系統(tǒng)是在較低溫度下沉積薄膜，這與傳統(tǒng)LED用PECVD設(shè)備相比，生產(chǎn)過程易于控制且高效節(jié)能。

旭瑞光電成立于2011年5月23日，是一家位于佛山的合資公司，其股東之一為美國LED芯片制造商旭明公司(SemiLEDs Corporation)，其LED芯片項目是SemiLEDs在中國大陸投資的唯一項目，總投資超過3.5億美元，將專業(yè)生產(chǎn)大功率高亮度LED芯片產(chǎn)品。