德國MOCVD大廠愛思強(qiáng)(Aixtron)昨（26）日宣布， 在臺灣領(lǐng)先的科技大學(xué)之一，著名的中興大學(xué)向其訂購一套3x2英寸芯片規(guī)格的近耦合噴淋頭®(CCS) MOCVD系統(tǒng)。

臺灣中興大學(xué)將利用CCS系統(tǒng)進(jìn)行在硅芯片上異質(zhì)外延生長氮化鎵（“硅基氮化鎵”）技術(shù)的研發(fā)。愛思強(qiáng)的一支當(dāng)?shù)胤?wù)支持團(tuán)隊(duì)已在臺灣中興大學(xué)位于臺中市的專用潔凈間中，對新反應(yīng)器進(jìn)行安裝及調(diào)試。臺灣中興大學(xué)材料科學(xué)與工程系的武教授評論說：“愛思強(qiáng)的近耦合噴淋頭®系統(tǒng)是研究硅基氮化鎵的完美選擇。這一結(jié)論不僅是基于我多年來對這種材料技術(shù)難題的研究，而且是全球眾多使用愛思強(qiáng)MOCVD系統(tǒng)的領(lǐng)先研究機(jī)構(gòu)的共識。臺灣中興大學(xué)精密工程研究所的洪教授補(bǔ)充說：“這套反應(yīng)器具有適應(yīng)廣泛、操作簡易的特點(diǎn)，且可實(shí)現(xiàn)我們所需要的一系列參數(shù)的可復(fù)制性，將為我們生產(chǎn)高質(zhì)量的硅基氮化鎵外延片和其他新結(jié)構(gòu)提供一臂之力。”

自2001年以來，由武教授和洪教授共同領(lǐng)導(dǎo)的臺灣中興大學(xué)研發(fā)團(tuán)隊(duì)已成功開發(fā)多項(xiàng)獨(dú)特的氮化鎵和磷化鋁鎵銦LED技術(shù)。如今，這個(gè)涵蓋外延生長到設(shè)備加工與包裝的綜合實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)成為臺灣領(lǐng)先的研發(fā)中心之一。該團(tuán)隊(duì)的多項(xiàng)產(chǎn)學(xué)合作項(xiàng)目成功榮獲臺灣行政主管部門科學(xué)委員會(huì)嘉獎(jiǎng)。

臺灣中興大學(xué)是臺灣中部地區(qū)唯一一所提供全面的研究和教育課程的臺灣大學(xué)。該校持續(xù)投資建設(shè)卓越研究中心，包括生物技術(shù)、納米仿生技術(shù)和先進(jìn)的工業(yè)精密儀器儀表技術(shù)三個(gè)領(lǐng)域，致力在未來五年內(nèi)躋身世界一流大學(xué)之列。