2013年6吋有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)機(jī)臺(tái)量將大幅增長。發(fā)光二極體(LED)價(jià)格自2011年始走跌，上游LED磊晶廠除藉由縮減資本支出(CAPEX)力挽利潤與營收下滑頹勢外，亦已逐步調(diào)高6吋MOCVD機(jī)臺(tái)采用比重，進(jìn)一步降低制造成本、強(qiáng)化價(jià)格競爭力。

Laytec業(yè)務(wù)總經(jīng)理Tom Thieme表示，今年上游LED磊晶供應(yīng)商添購MOCVD機(jī)臺(tái)的數(shù)量明顯下滑，且4吋MOCVD機(jī)臺(tái)不再是市場主流，反之6吋MOCVD機(jī)臺(tái)的采購比例明顯攀升，顯見LED磊晶廠已面臨極大的成本壓力，因此加緊購入大尺寸MOCVD機(jī)臺(tái)，以提高毛利率和營收貢獻(xiàn)。

看好6吋MOCVD機(jī)臺(tái)需求看漲，愛思強(qiáng)(Aixtron)、威易科(Veeco)等MOCVD設(shè)備商早已展開6吋產(chǎn)品線部署；另一方面，MOCVD光學(xué)量測廠商，亦快馬加鞭布局先進(jìn)的現(xiàn)地量測(In-Situ Metrology)技術(shù)，以提高LED磊晶廠的生產(chǎn)良率，達(dá)成調(diào)降制造成本的目的。

目前Laytec針對6吋MOCVD機(jī)臺(tái)開發(fā)的現(xiàn)地量測儀器，讓LED波長的一致性可達(dá)±3奈米(nm)，該公司計(jì)畫至2015年達(dá)±1奈米的目標(biāo)，可望助力LED磊晶廠加快提升良率，以縮減成本。

預(yù)估，2013年6吋MOCVD機(jī)臺(tái)的市場滲透率將會(huì)急速擴(kuò)大，對于量測MOCVD反應(yīng)爐內(nèi)晶圓溫度的高溫計(jì)(Pyrometer)儀器，MOCVD設(shè)備廠商已發(fā)出安裝到反應(yīng)爐中的現(xiàn)地量測儀器，可以確保晶圓的平整度(Flatness)，以提高良率。