愛思強(qiáng)股份有限公司宣布，美國公司Transphorm Inc.向其訂購每批可處理五片直徑為200mm （5x8英寸）晶圓的AIXTRON愛思強(qiáng)G5+ MOCVD系統(tǒng)，用以提升其硅基氮化鎵的產(chǎn)能。 AIXTRON愛思強(qiáng)是在2012年第四季度接獲訂單，將于2013年第二季度交付系統(tǒng)。

Transphorm總裁Primit Parikh表示： “此次訂單將不僅提高我們的產(chǎn)能, 這套新系統(tǒng)也將使我們實(shí)現(xiàn)從直徑150mm晶圓向200mm晶圓的過渡，為我們帶來規(guī)模效益。 我們希望能以較低的總擁有成本實(shí)現(xiàn)更大尺寸的晶圓生產(chǎn)工藝，從而將這次技術(shù)升級應(yīng)用到更廣泛的領(lǐng)域。”

AIXTRON愛思強(qiáng)副總裁兼功率器件項(xiàng)目經(jīng)理Frank Wischmeyer博士表示： “在研發(fā)AIXTRON G5+系統(tǒng)時(shí)，我們正是考慮到像Transphorm這樣的客戶的需求。 硅基氮化鎵發(fā)展勢頭迅猛，業(yè)界期望能在未來短期內(nèi)將這項(xiàng)技術(shù)商品化。 以最低的總擁有成本實(shí)現(xiàn)最高的性能，是其成功的關(guān)鍵。 我們的G5+系統(tǒng)每批次可生產(chǎn)多片大直徑的晶圓，并擁有冠絕業(yè)界的工藝穩(wěn)定性和均勻性。”

Transphorm于2010年首次訂購AIXTRON愛思強(qiáng)系統(tǒng)，是一套6x150mm晶圓規(guī)格的AIX 2800G4 HT系統(tǒng)。 Parikh補(bǔ)充說： “鑒于我們現(xiàn)有系統(tǒng)的出色表現(xiàn)，我們有信心將能快速順利地過渡到更大直徑的晶圓生產(chǎn)。”

AIX G5+是基于歷經(jīng)驗(yàn)證的AIX G5 HT 反應(yīng)器平臺(tái)。 其卓越的穩(wěn)定性和均勻性表現(xiàn)，提供了較市面上任何其他MOCVD系統(tǒng)更高的設(shè)備良率。

Transphorm致力于重新定義功率轉(zhuǎn)換，以相宜的系統(tǒng)成本提供易于嵌入的功率轉(zhuǎn)換設(shè)備和模塊，從而將成本高昂的能量損耗降低50%以上。 Transphorm基于氮化鎵的解決方案可簡化多種電子系統(tǒng)和設(shè)備的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)，包括電源供應(yīng)器、太陽能逆變器／功率調(diào)節(jié)器、電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和電動(dòng)車等。