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日商Air Water量產(chǎn)全球最大尺寸SiC基板

2013-05-21 17:41:04 [編輯：jasminezhuang]

日商Air Water Inc.20日發(fā)布新聞稿宣布，已成功研發(fā)出可生產(chǎn)全球最大尺寸的“碳化矽(SiC)”基板量產(chǎn)技術(shù)，借由該技術(shù)所生產(chǎn)的SiC基板尺寸可達(dá)8寸(現(xiàn)行主流為4寸)。

Air Water表示，已投下約20億日圓于安曇野工廠內(nèi)整備出月產(chǎn)2,000片的量產(chǎn)體制。據(jù)日經(jīng)指出，Air Water該8寸SiC基板已進(jìn)行樣品出貨，Air Water并計(jì)劃于2016年以后將SiC基板事業(yè)營收擴(kuò)增至數(shù)百億日圓的規(guī)模。

Air Water表示，SiC基板可充做電源控制芯片、LED的底層基版，而該公司上述量產(chǎn)技術(shù)可同時(shí)滿足“大面積”、“高品質(zhì)結(jié)晶”及“低成本”等要求，故可望對電源控制芯片、LED的加快普及帶來貢獻(xiàn)。

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