1月14日,兆馳股份在投資者互動平臺表示,公司用于氮化鎵MiniLED芯片項目擴產(chǎn)的Prismo UniMax設備已于2022年中旬成功點亮,下半年產(chǎn)能逐漸放量,預計2023年上半年實現(xiàn)滿產(chǎn)。
據(jù)悉,2022年3月,兆馳股份旗下兆馳半導體向中微公司全資子公司南昌中微采購52腔Prismo Unimax?MOCVD設備。同年5月27日,兆馳半導體研發(fā)中心新進Unimax設備經(jīng)調(diào)試產(chǎn)出外延片成功點亮。
按照規(guī)劃,此次擴產(chǎn)項目預計投產(chǎn)后氮化鎵芯片月產(chǎn)能總規(guī)??蛇_110萬片4英寸片,達產(chǎn)后預計氮化鎵產(chǎn)能居行業(yè)前列。
圖片來源:拍信網(wǎng)正版圖庫
而在此前,兆馳半導體擁有的100腔中微MOCVD(A7)已實現(xiàn)MiniLED外延片的量產(chǎn)生長能力,且波長一致性,亮度均勻性,抗靜電能力等方面具備較高優(yōu)勢。
據(jù)了解,Prismo UniMax產(chǎn)品為中微公司于2021年6月發(fā)布的用于高性能MiniLED量產(chǎn)的MOCVD設備,該設備在同一系統(tǒng)中可配備多達4個反應腔,并配置了創(chuàng)新的多區(qū)溫度補償加熱系統(tǒng),具備優(yōu)異的波長均勻性、重復性和穩(wěn)定性。
其優(yōu)化設計的噴淋頭實現(xiàn)了更好的均勻性和產(chǎn)出穩(wěn)定性、超大直徑石墨托盤可大幅提升客戶產(chǎn)能并降低成本。通過石墨盤晶片排布的最優(yōu)化,Prismo UniMax的加工容量可以延伸至生長164片4英寸或72片6英寸晶片。(LEDinside整理)