蔚華科28日宣布，與旗下南方科技合作，推出非破壞性缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，搶攻化合物半導(dǎo)體檢測(cè)商機(jī)。

蔚華科表示，現(xiàn)行的碳化硅（SiC）檢測(cè)方式是將晶錠切片，取上、下兩片基板進(jìn)行破壞性氫氧化納（KOH）蝕刻檢測(cè)。

圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫(kù)

蔚華科指出，與南方科技合作的非破壞性缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，是采用非線性光學(xué)技術(shù)，掃描碳化硅基板，找出基板內(nèi)部的晶體缺陷，每個(gè)晶錠可以省下兩片用以檢測(cè)的基板。

此外，蔚華科還表示，相關(guān)檢測(cè)系統(tǒng)可以全面檢測(cè)晶錠，進(jìn)行晶錠分析和批次追蹤分析，有助改善制程、提升產(chǎn)量。

蔚華科指出，與南方科技合作推出非破壞性缺陷檢測(cè)系統(tǒng)后，未來將加速將南方科技在Micro LED、硅光子等先進(jìn)光學(xué)檢測(cè)技術(shù)的商業(yè)化。（來源：CNA）

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