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邁為股份順利交付MicroLED激光剝離、巨量轉移裝備

8月7日,邁為股份宣布,公司自主研發(fā)的最新一代Micro LED激光剝離設備(LLO)和Micro LED巨量轉移設備(LMT)成功完成樣品驗證,順利交付至新型顯示領域頭部企業(yè)。

圖片來源:邁為股份

據悉,邁為股份于2022年成功開發(fā)了Micro LED激光巨量轉移量產裝備,該裝備采用高性能紫外激光器,配合高指向性光路系統,可針對不同尺寸產品調整光斑大小,同時結合高精密運動平臺、高速度高精度振鏡掃描,實現高效率、高靈活度、高品質的晶粒轉移效果。

而邁為股份自主研制的Micro LED激光剝離設備采用了DPSS固體激光器,針對Micro LED晶圓進行激光剝離, 實現GaN外延層和藍寶石襯底的分離。相較前一代產品,邁為股份本次交付的設備升級至全新平頂光整形選擇性剝離技術,配備高精密視覺成像定位系統及高精密運動控制系統,剝離效果優(yōu)于準分子工藝,整體均一性高,量產良率可達到99.999%。

圖片來源:邁為股份

資料顯示,邁為科技于2019年成立,是一家集機械設計、電氣研制、軟件開發(fā)、精密制造于一體的泛半導體高端裝備制造商,立足真空、激光、精密裝備三大關鍵技術平臺,產品主要包括全自動太陽能電池絲網印刷生產線、異質結高效電池制造整體解決方案、OLED柔性屏激光設備、MLED全線自動化設備解決方案、半導體晶圓封裝設備等。

自2020年起,邁為股份面向Micro LED領域,自主研發(fā)了晶圓鍵合、激光剝離、激光巨轉、激光鍵合、激光修復、激光切割及D2D鍵合、混合鍵合等全套設備。未來邁為股份將持續(xù)攻堅核心技術,不斷完善MLED整線工藝解決方案。

值得注意的是,初入8月,Micro LED設備商進展不斷,激光智能設備商海目星也在1號宣布完成首條Micro LED中試線順利出貨,涵蓋Micro LED巨量轉移、Micro LED巨量焊接、Micro LED激光修復等設備,并已完成廠內FAT驗收,產線效率達25-100kk/h,制程良率達99.99%以上,實現≤50μm的Micro LED芯片應用要求。(來源:邁為股份、LEDinside整理)

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