2025年，Micro LED技術(shù)在多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)取得進(jìn)展，新技術(shù)突破、新合作達(dá)成、新應(yīng)用拓展以及新項(xiàng)目落地頻頻涌現(xiàn)，同時(shí)設(shè)備廠商正積極克服Micro LED產(chǎn)業(yè)化面臨的技術(shù)瓶頸，為后端廠商提供關(guān)鍵的生產(chǎn)工具，推動(dòng)Micro LED技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用。

設(shè)備廠商進(jìn)展頻出，關(guān)鍵技術(shù)持續(xù)突破

Micro LED產(chǎn)業(yè)化面臨的關(guān)鍵技術(shù)難題之一便是晶圓檢測(cè)。當(dāng)前，Micro LED晶圓檢測(cè)技術(shù)主要包括三類：探針式電致發(fā)光檢測(cè)(EL)、AOI外觀缺陷檢測(cè)和光致發(fā)光檢測(cè)(PL)。然而，這幾種方法在Micro LED大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化方面均面臨各自的挑戰(zhàn)。

為解決Micro LED行業(yè)共性檢測(cè)技術(shù)問題，海目星于5月12日宣布，公司攜手福州大學(xué)成功研制出國(guó)內(nèi)首款晶圓級(jí)Micro LED芯片非接觸電致發(fā)光檢測(cè)工程樣機(jī)FED-NCEL?；谠摌訖C(jī)的研發(fā)成果，可對(duì)紅、綠、藍(lán)Micro LED外延片、晶圓（COW）以及轉(zhuǎn)移到臨時(shí)載板的芯片（COC）進(jìn)行無接觸電致發(fā)光檢測(cè)。

圖片來源：海目星

在新型顯示設(shè)備領(lǐng)域，海目星曾于2024年出貨一條Micro LED中試線，該產(chǎn)線包含Micro LED巨量轉(zhuǎn)移、巨量焊接、激光修復(fù)等設(shè)備，并已完成廠內(nèi)FAT驗(yàn)收。據(jù)介紹，該產(chǎn)線效率可達(dá)25-100kk/h，制程良率達(dá)到99.99%以上，支持≤50μm的Micro LED芯片應(yīng)用。

在巨量檢測(cè)領(lǐng)域，壹倍科技同樣表現(xiàn)活躍。今年1月7日，壹倍科技宣布完成2024年度的最后一批Micro LED巨量檢測(cè)設(shè)備交付，達(dá)成全年交付目標(biāo)。此次交付的產(chǎn)品涵蓋了針對(duì)COW/COC工藝的PL檢測(cè)設(shè)備M1070P以及用于外觀與位置檢測(cè)的AOI設(shè)備M1075A。

圖片來源：壹倍科技

在2024年的8月和11月，壹倍科技已分別向中國(guó)大陸和臺(tái)灣地區(qū)的客戶成功交付了自主研發(fā)的AOI與PL巨量檢測(cè)設(shè)備。公司表示，隨著中試線和量產(chǎn)線陸續(xù)點(diǎn)亮，Micro LED正從研發(fā)邁向小批量量產(chǎn)，2025年將是產(chǎn)能與良率提升的關(guān)鍵期。

除了檢測(cè)設(shè)備，成膜設(shè)備、鍵合設(shè)備等Micro LED制造過程中的核心工藝設(shè)備，對(duì)于推動(dòng)Micro LED的產(chǎn)業(yè)化同樣至關(guān)重要。

2024年3月11日，智芯達(dá)在該領(lǐng)域帶來好消息，成功下線首臺(tái)巨量轉(zhuǎn)移側(cè)邊磁控濺射成膜機(jī)。該設(shè)備采用3D磁控濺射與低溫低損技術(shù)，并通過優(yōu)化靶材等技術(shù)，有效提升了成膜的穩(wěn)定性和附著力，降低了熱損傷，是實(shí)現(xiàn)Micro LED無縫拼接的關(guān)鍵設(shè)備。

無獨(dú)有偶，同日，青禾晶元在香港發(fā)布了C2W&W2W雙模式混合鍵合設(shè)備SAB 82CWW系列。這款設(shè)備支持8英寸和12英寸晶圓，具備±30nm的對(duì)準(zhǔn)精度和±100nm的鍵合精度，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，不僅適用于Micro LED，還涵蓋存儲(chǔ)器、圖像傳感器等領(lǐng)域。

此外，激光技術(shù)企業(yè)也在Micro LED相關(guān)設(shè)備方面有所交付。2024年1月1日，英諾激光向新客戶交付了Micro LED相關(guān)設(shè)備，包括激光去晶和激光切割設(shè)備。激光去晶是Micro LED工藝中的一個(gè)環(huán)節(jié)，用于去除芯片或雜質(zhì)，激光切割則用于材料的分切。

圖片來源：英諾激光

除了上文提及的企業(yè)，自2024年以來，邁為股份、大族半導(dǎo)體、合肥欣奕華、精智達(dá)、勁拓股份、聯(lián)得設(shè)備、中微公司、德龍激光等眾多設(shè)備廠商，在Micro LED相關(guān)設(shè)備和技術(shù)研發(fā)方面也取得新成果，這些進(jìn)展有助于提升Micro LED制造工藝的良率和生產(chǎn)效率。

融資潮涌動(dòng)，Micro LED乘“資”而上

設(shè)備廠商在Micro LED巨量檢測(cè)、轉(zhuǎn)移、鍵合等關(guān)鍵工藝設(shè)備領(lǐng)域持續(xù)取得突破，正成為推動(dòng)Micro LED技術(shù)由研發(fā)走向產(chǎn)業(yè)化的重要力量。與此同時(shí)，資本市場(chǎng)的積極響應(yīng)，也從側(cè)面體現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)發(fā)展的熱度與潛力。

智能制造企業(yè)福拉特深耕Micro LED等領(lǐng)域，專注于高端濕法、研磨、檢測(cè)及相關(guān)工藝設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)。今年4月，公司宣布完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資，資金將用于加快濕法清洗設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，助力大規(guī)模量產(chǎn)交付。

另?yè)?jù)深交所官網(wǎng)，Micro LED設(shè)備廠矽電股份已于1月13日提交創(chuàng)業(yè)板IPO注冊(cè)申請(qǐng)。此次募資約5.56億元，資金將用于探針臺(tái)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)基地建設(shè)、分選機(jī)技術(shù)研發(fā)、營(yíng)銷服務(wù)網(wǎng)絡(luò)升級(jí)以及補(bǔ)充流動(dòng)資金。

值得注意的是，除設(shè)備廠商外，今年以來，Micro LED產(chǎn)業(yè)鏈上的多家企業(yè)也相繼獲得資本加持，包括諾視科技、巽霖科技、普照材料、瑞典Polar Light Technologies、Hyperlume以及加拿大VueReal，顯示出行業(yè)上下游對(duì)Micro LED商業(yè)化前景的看好。

國(guó)內(nèi)市場(chǎng)方面，諾視科技于3月5日完成了A輪融資。近年來，諾視科技先后完成天使輪、戰(zhàn)略投資、Pre-A輪等融資。其中，2024年3月的Pre-A2輪融資達(dá)億元，資金用于Micro LED微顯示芯片量產(chǎn)線建設(shè)，以及其基于VSP技術(shù)方案Micro LED芯片的進(jìn)一步研發(fā)。

此外，巽霖科技也于3月完成了數(shù)千萬元的Pre-A輪融資，該公司憑借制造1350×1050mm大尺寸高銅厚面板的能力，已成功實(shí)現(xiàn)小間距高清高亮的大尺寸全透明玻璃屏幕應(yīng)用，并通過精細(xì)線路設(shè)計(jì)提升了Mini/Micro LED產(chǎn)品的可操作性并降低成本。

在材料端，普照材料于2月宣布完成7.4億元B輪融資，該公司已建有多條濺射勻膠鉻版生產(chǎn)線，并啟動(dòng)了旨在滿足LTPS、LTPO、AMOLED、Micro LED等多種平板顯示掩?；逍枨蟮漠a(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目。

在海外市場(chǎng)，Micro LED相關(guān)技術(shù)企業(yè)同樣獲得了資本青睞。

專注于Micro LED光互連領(lǐng)域的Hyperlume公司，于2月21日完成了1250萬美元（約合人民幣9062.2萬元）的種子輪融資，該公司致力于開發(fā)一種采用超高速M(fèi)icro LED作為光源、適用于AI算力集群機(jī)架內(nèi)短距離通信的低成本芯片間光互連技術(shù)。

加拿大Micro LED技術(shù)開發(fā)商VueReal于1月30日宣布完成4050萬美元（當(dāng)時(shí)約合人民幣2.90億元）的C輪融資，該公司的核心技術(shù)MicroSolid Printing通過高效的巨量轉(zhuǎn)移工藝，旨在實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量、低缺陷率和高性能的Micro LED顯示器生產(chǎn)。

小結(jié)

綜合來看，Micro LED產(chǎn)業(yè)正處于加速產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵階段。在制造設(shè)備方面，廠商在巨量檢測(cè)、轉(zhuǎn)移與鍵合等核心工藝技術(shù)上取得積極進(jìn)展。同時(shí)，資本市場(chǎng)對(duì)Micro LED領(lǐng)域持續(xù)關(guān)注，相關(guān)企業(yè)獲得多輪融資支持，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入動(dòng)能。

在應(yīng)用前景方面，TrendForce集邦咨詢分析師指出，車用與近眼顯示是玻璃基與硅基Micro LED接下來瞄準(zhǔn)的應(yīng)用賽道，前者預(yù)計(jì)在2028年可以為芯片挹注超過1億美金的產(chǎn)值，后者中長(zhǎng)期預(yù)估在所有AR眼鏡中的搭載滲透率上看50%，展現(xiàn)出廣闊的市場(chǎng)潛力。（文：LEDinside Mia）