近日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司發(fā)布了面向22納米及以下芯片生產(chǎn)的第二代300毫米甚高頻去耦合反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備 -- Primo AD-RIE™。產(chǎn)品將于3Q2011年付運(yùn)。第一臺(tái) Primo AD-RIE 將進(jìn)入亞洲一流芯片代工廠。

中微 Primo AD-RIE 應(yīng)用了先進(jìn)的射頻系統(tǒng)保證了刻蝕過(guò)程的穩(wěn)定性和可重復(fù)性，更好的調(diào)諧能力確保了超精細(xì)的關(guān)鍵尺寸均勻度，更優(yōu)異的反應(yīng)室內(nèi)壁材料以降低缺失來(lái)提高產(chǎn)品良率；同時(shí)保證了芯片加工的質(zhì)量，實(shí)現(xiàn)了35%到50%的資本效率增益，總體擁有成本降低20%至40%；更加緊湊的產(chǎn)品設(shè)計(jì) -- 占地面積比同類最大設(shè)備小至少30%，這些都使得 Primo AD-RIE 成為當(dāng)前半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)上最高產(chǎn)出率、最低生產(chǎn)成本的先進(jìn)刻蝕設(shè)備。

Primo AD-RIE 在促進(jìn)中微第一代刻蝕設(shè)備技術(shù)創(chuàng)新的同時(shí)，擴(kuò)大了其自身的加工領(lǐng)域。其主要部分是一組創(chuàng)新的少量反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)器的簇架構(gòu)，可以靈活地裝置多達(dá)三個(gè)雙反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)器，以達(dá)到最佳芯片加工輸出量。每個(gè)反應(yīng)器都可以實(shí)現(xiàn)單芯片或雙芯片加工。獨(dú)特的反應(yīng)器腔體設(shè)計(jì)融合了中微專有的等離子體聚焦和噴淋頭技術(shù)，確保了芯片加工的質(zhì)量。

Primo AD-RIE 的一些基本特征使其更具備28納米以下關(guān)鍵刻蝕加工的能力，這些基本特征包括：除了已有的60兆赫茲射頻以外，2-13.5兆赫茲可切換射頻使 Primo AD-RIE 加工范圍更加廣泛，獨(dú)特的射頻輸入和對(duì)稱分布改善了等離子密度的均勻分布，三區(qū)氣體分布和雙調(diào)諧氣體提高了刻蝕的均勻度和調(diào)諧性，靜電吸盤雙區(qū)冷卻裝置提高了晶片溫度的可調(diào)性并極大改善了晶圓片的刻蝕均勻度。

系統(tǒng)特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)：

1、去耦合反應(yīng)離子刻蝕實(shí)現(xiàn)了離子濃度和離子能量的獨(dú)立控制；

 2、獨(dú)特的甚高頻射頻輸入和對(duì)稱分布可在大批量生產(chǎn)環(huán)境中仍能確保實(shí)現(xiàn)重復(fù)性結(jié)果的精準(zhǔn)控制；

3、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的等離子體聚焦使刻蝕過(guò)程更為穩(wěn)定可靠，有更寬泛的工藝窗口；

 4、每個(gè)反應(yīng)臺(tái)獨(dú)立的射頻發(fā)生器、各反應(yīng)臺(tái)均勻度的分別控制和刻蝕終點(diǎn)控制，使每片晶圓可以在獨(dú)立的反應(yīng)環(huán)境中被刻蝕處理；

 5、從底部供能的高頻射頻提供了穩(wěn)定、低壓、高密度度的等離子體，保持 low-k 材料的完整性；

6、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的、具有快速、穩(wěn)定、可靠的調(diào)諧能力的自隔離射頻匹配裝置；

7、反應(yīng)腔內(nèi)壁選用高純度、耐等離子特殊材料，開(kāi)發(fā)了最佳的材料加工過(guò)程，大大降低了損耗，將雜質(zhì)微粒數(shù)降到最低；

 8、電阻上電極直接加熱處理的閉環(huán)控制為持續(xù)的芯片加工過(guò)程提供了精確、快速的溫度控制；

 9、雙反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)器的簇架構(gòu)，可配置多達(dá)六個(gè)單芯片加工反應(yīng)臺(tái)，即在較小的占地面積上獲得很高的輸出量；

10、模塊化的系統(tǒng)架構(gòu)使安裝和維護(hù)操作更簡(jiǎn)便。