近日，日本牛尾電機宣布，LED用曝光裝置“UX4-LEDs FFPL 200”已開始供貨，此外，公司成功開發(fā)出了LED用激光剝離裝置“UX4－LEDs LLO150”。

曝光裝置“UX4-LEDs FFPL 200”是全球首款支持200mm晶圓的產(chǎn)品。而激光剝離裝置“UX4－LEDs LLO150”用于從藍寶石（Al2O3）基板上剝離氮化鎵（GaN）膜，實現(xiàn)藍寶石基板的重復利用時。 

牛尾電機曾于2010年11月發(fā)布了支持150mm晶圓的曝光裝置，日本、韓國、中國大陸以及 中國臺灣的大型LED廠商已應用于量產(chǎn)線。此次發(fā)布的新款“UX4-LEDs FFPL 200”裝置沿襲了150mm晶圓裝置的平臺，同時配備了支持200mm晶圓的光學系統(tǒng)。由于采用了全域等倍曝光方式，因此不會像步進曝光（Step and Repeat）方式那樣，吞吐量隨著晶圓直徑的擴大而降低，繼續(xù)保持了120張/小時的吞吐量。分辨率為3μm，重疊精度方面，正反面均為1μm?？蛇x配反面疊加功能。 

激光剝離裝置“UX4－LEDs LLO150”，配備了高穩(wěn)定性激光器、在曝光裝置中開發(fā)的紫外光學技術(shù)及搬運技術(shù)，能夠兼顧高生產(chǎn)效率及穩(wěn)定的品質(zhì)。支持150mm基板。