業(yè)內(nèi)最高產(chǎn)能的精密光學(xué)鍍膜系統(tǒng)
 
4月16日，Veeco公司（納斯達(dá)克股票代碼：VECO）在比利時(shí)布魯塞爾Square Brussels Meeting Centre由國(guó)際光學(xué)工程學(xué)召開(kāi)的歐洲光子學(xué)展上，正式發(fā)布了應(yīng)用于光學(xué)鍍膜的離子束沉積（IBD）系統(tǒng)SPECTOR-HT™。與前一代的鍍膜機(jī)設(shè)備SPECTOR相比較，SPECTOR-H™最多能提供400%的產(chǎn)能增長(zhǎng)，靶材使用率提高300%，材料生長(zhǎng)的均勻性提高50%。此外，該新系統(tǒng)提供卓越的薄膜質(zhì)量，并為各種光學(xué)應(yīng)用提供低成本的生產(chǎn)平臺(tái)，包括精密光學(xué)、激光、生命科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)設(shè)備以及通信。

Veeco離子束設(shè)備執(zhí)行副總裁Robert P. Oats表示：“Veeco在全球安裝超過(guò)200臺(tái)設(shè)備，是公認(rèn)的光學(xué)業(yè)內(nèi)離子束沉積鍍膜的領(lǐng)導(dǎo)者。與其他相關(guān)技術(shù)相比，例如物理氣相沉積（PVD），蒸發(fā)鍍膜或者里子輔助沉積，新一代的SPECTOR-HT™系統(tǒng)提供無(wú)與倫比的產(chǎn)能優(yōu)勢(shì)和低成本平臺(tái)。”
 
SPECTOR-HT™ 是業(yè)內(nèi)首個(gè)完全自動(dòng)化的離子束沉積系統(tǒng)。實(shí)現(xiàn)了在媲美PVD的快速沉積速率下保證高質(zhì)量、優(yōu)化薄膜以滿(mǎn)足挑戰(zhàn)性的生產(chǎn)要求。在批量生產(chǎn)時(shí)新系統(tǒng)要比前一代的SPECTOR沉積速律快2倍。