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北方微電子的ELEDE 330高密度等離子ICP刻蝕機中標藍光LED項目

2011-02-21 09:43:57 [編輯：wendymeng]

近日，北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司研制的ELEDE 330高密度等離子ICP刻蝕機，中標上海藍光LED項目。

北方微電子自主研制生產(chǎn)的ELEDE 330，是中國首臺直接面向LED大生產(chǎn)線的ICP刻蝕系統(tǒng)，實現(xiàn)了北方微電子半導體刻蝕技術在LED領域的成功擴展。

此前不久，北方微電子研制的高密度等離子刻蝕機中標國家集成電路先導工藝研發(fā)項目。

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