LED和雷射技術(shù)大廠Soraa公司正在開發(fā)用于普通照明和投影顯示市場的新類LED和雷射，日前，該公司最近購買了三套Plasma-Therm系統(tǒng)，用以在其晶圓制程中進(jìn)行電漿沉積和蝕刻步驟。

公司新近購買的三套系統(tǒng)包括790+® RIE、VERSALINE® PECVD和VERSALINE® ICP。透過提供電介質(zhì)沉積和金屬、電介質(zhì)以及活性物質(zhì)的結(jié)構(gòu)排列，它們共同實(shí)現(xiàn)了前期關(guān)鍵的制程技術(shù)、步驟，這對于開發(fā)和生產(chǎn)最先進(jìn)的光子元件相當(dāng)重要。而且，隨著非工業(yè)照明、顯像、生物技術(shù)、國防以及其他工業(yè)領(lǐng)域的主流應(yīng)用開始使用LED和雷射，它們的需求也在逐步增加。

該公司銷售與市場行銷執(zhí)行副總裁Ed Ostan指出：“當(dāng)工程師將他們的技能和知識應(yīng)用于不同的半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域時(shí)，他們通常無法將其所擁有的知識和經(jīng)驗(yàn)用于操作不同的設(shè)備集。應(yīng)用Plasma-Therm制程系統(tǒng)的積極經(jīng)驗(yàn)不僅吸引了更多新的訂單，而且還保持了持續(xù)的業(yè)務(wù)關(guān)系。以前使用Plasma-Therm設(shè)備所體會(huì)到的優(yōu)越性在這次制造商購買Plasma-Therm設(shè)備的決定中發(fā)揮重要作用。我們重視建立強(qiáng)有力的業(yè)務(wù)關(guān)系以及我們系統(tǒng)經(jīng)過驗(yàn)證的可靠性和支援，這是客戶重復(fù)訂購的關(guān)鍵因素?！?/p>

有關(guān)Soraa公司
Soraa由來自于圣巴巴拉市加州大學(xué)的先進(jìn)氮化合物研究員Shuji Nakamura教授、Steve DenBaars教授和Jim Speck教授創(chuàng)立，執(zhí)行長為Eric Kim，目前，該公司正迅速擴(kuò)展其美國廠的量產(chǎn)制造能力。

有關(guān)Plasma-Therm
Plasma-Therm成立于1974年，是先進(jìn)的電漿制程設(shè)備供應(yīng)商，提供多種蝕刻和沉積技術(shù)。Plasma-Therm系統(tǒng)支援各種專業(yè)市場，如固態(tài)照明、薄膜磁頭、MEMS、光罩和化合物半導(dǎo)體市場。為滿足全球客戶群的多元化需求，Plasma-Therm在北美、歐洲和亞太設(shè)有銷售、服務(wù)和備件供應(yīng)點(diǎn)。