愛思強股份有限公司日前宣布，日本大阪大學(xué)向其訂購一套能處理4英寸基材的愛思強BM* Pro系統(tǒng)。該訂單已于2012年第三季度接獲。

在Matsumoto教授和Maehashi助理教授的帶領(lǐng)下，產(chǎn)業(yè)科學(xué)研究所半導(dǎo)體電子部的研究人員將利用這套新設(shè)備生產(chǎn)適用于生物傳感器的碳納米管(CNT)及石墨烯結(jié)構(gòu)。目的是通過結(jié)合使用石墨烯場效應(yīng)晶體管和抗體、抗原及適配體等有機藥品，實現(xiàn)對特定蛋白質(zhì)進行電子檢測。此外，這套BM Pro系統(tǒng)還將用于生產(chǎn)適用于微機電系統(tǒng)(MEMS)和能量存儲裝置的碳納米管。

愛思強納米技術(shù)設(shè)備總監(jiān)Ken Teo博士表示：“我們的系統(tǒng)之所以能獲得大阪大學(xué)的青睞，是因為它能提供具有成本效益的整體解決方案，由我們來處理復(fù)雜的CVD過程，讓研究人員可以將更多時間和精力投入到元件細節(jié)的研發(fā)中。BM Pro系統(tǒng)操作簡易、具備出色的靈活性和成熟的工藝，能以可重復(fù)生產(chǎn)的方式可靠地為客戶生長多種納米管和石墨烯，是對流程可靠性具有高要求的器件開發(fā)項目的完美選擇。憑借我們的技術(shù)，客戶還可以選擇使用BM 300T 系統(tǒng)大規(guī)模生產(chǎn)300毫米晶圓，流程轉(zhuǎn)移簡單易行。”

為滿足生長多種石墨烯和碳納米管同時實現(xiàn)高度的質(zhì)量一致性的要求，愛思強BM Pro系統(tǒng)配備了升溫速率高達300度/分鐘的高性能加熱器、頂置式晶圓溫度控制、脈沖等離子體和自動處理工藝。該系統(tǒng)專為多用戶實驗室設(shè)計，具備詳細的數(shù)據(jù)記錄功能、安全聯(lián)鎖裝置和反應(yīng)器集成監(jiān)控攝像頭，保證可靠的流程監(jiān)控。