Veeco推出TurboDisc® K465i™ ，一款用于生產(chǎn)高亮度LED（HB LED）的氮化鎵(GaN) 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀(MOCVD)設(shè)備，日前經(jīng)過LED產(chǎn)業(yè)內(nèi)的Veeco 用戶試用后， K465i 很快獲得量產(chǎn)認(rèn)可，該公司已經(jīng)接到了亞太區(qū)域多個(gè)LED 用戶的訂單。

Veeco指出，這次的新產(chǎn)品TurboDisc K465i 以Veeco 久經(jīng)考驗(yàn)的K 家族平臺(tái)為基礎(chǔ)，結(jié)合業(yè)界最高生產(chǎn)效率，在5nm bin誤差范圍內(nèi)，同級(jí)最優(yōu)LED的良品率接近90% ，大幅提高中bin率。 TurboDisc K465i 采用完全自動(dòng)化運(yùn)作，例行維護(hù)后在很短的時(shí)間內(nèi)即可繼續(xù)生產(chǎn)動(dòng)作，增加生產(chǎn)效率。在同類產(chǎn)品競爭中，不僅生產(chǎn)效率最高，還能節(jié)約大量成本。

TurboDisc K465i 設(shè)計(jì)：均勻性和可重復(fù)性

TurboDisc　K465i GaN MOCVD 系統(tǒng)裝置的核心，是Veeco正在申請專利的Uniform FlowFlange 技術(shù)。它的設(shè)計(jì)是用來產(chǎn)生能均勻地流過LED晶圓的烷基和氫化物氣體的均勻氣流型態(tài)，該設(shè)備打造出來的LED晶?？色@得卓越的均勻性和可重復(fù)性，K465 i也采用了Veeco 最先進(jìn)的反應(yīng)爐技術(shù)。 FlowFlange 的簡化設(shè)計(jì)提供了快速制程優(yōu)化的輕松除錯(cuò)功能，適用晶圓大小達(dá)8 英吋，同時(shí)該設(shè)備維護(hù)后的快速復(fù)產(chǎn)能力也保證了LED產(chǎn)業(yè)界最高的生產(chǎn)效率。