Micro LED被譽(yù)為是下一世代最重要的顯示技術(shù)之一，由于Micro LED的性能優(yōu)良，可應(yīng)用在穿戴式的手表、手機(jī)、車(chē)用顯示器、擴(kuò)增實(shí)境/虛擬實(shí)境、顯示屏及電視…等領(lǐng)域，但因?yàn)槟壳癕icro LED 所面臨的技術(shù)瓶頸，設(shè)備、材料、面板與品牌廠商更需攜手合作共同開(kāi)發(fā)。LEDinside有此榮幸與機(jī)會(huì)訪問(wèn)到VEECO資深副總與技術(shù)長(zhǎng)Dr. Ajit Paranjpe，談及目前Micro LED在磊晶發(fā)展上所面臨到的技術(shù)瓶頸。

（圖片來(lái)源：VEECO）

Ajit提到MOCVD應(yīng)用于Micro LED產(chǎn)業(yè)之成功關(guān)鍵因素取決于波長(zhǎng)均勻性(Wavelength Uniformity)與低缺陷密度的要求(Low Defect Density)以及降低成本。

依照一般顯示產(chǎn)業(yè)的要求，至少一定是要小于10個(gè)像素壞點(diǎn)(Dead Pixels)。因此對(duì)于LED磊晶的良率要求必須非常高，才有辦法減少壞點(diǎn)出現(xiàn)的機(jī)會(huì)。而在磊晶上壞點(diǎn)缺陷(Defect Density)的控制上，目前Veeco已經(jīng)可以控制在每一平方公分之下小于一個(gè)壞點(diǎn)。

至于在波長(zhǎng)均一性部分，雖然對(duì)傳統(tǒng)LED來(lái)說(shuō)，可以使用挑檢(Sorting)與分選(Binning)，然而對(duì)于Micro LED來(lái)說(shuō)，芯片微縮到極小，已經(jīng)相當(dāng)難以使用挑檢(Sorting)與分選(Binning) ，因此在LED磊晶生產(chǎn)上更要求極高均勻性。通常一般LED晶圓片與晶圓片的均勻性要求在8nm-10nm左右，依照一般顯示器行業(yè)要求，在顯示器成像顏色均勻性上的要求，須達(dá)到1-2nm LED磊晶波長(zhǎng)均勻性(Wafer Uniformity)，仍需視不同顯示器而定。然輔以適當(dāng)?shù)霓D(zhuǎn)移技術(shù)，現(xiàn)階段Micro LED的晶圓片之間的波長(zhǎng)均一性大約可以達(dá)到3-5nm，因此離顯示廠商要求還有段差距，需要透過(guò)LED磊晶廠商與轉(zhuǎn)移廠商的合作。

另外，除了在產(chǎn)品效能上的考量之外，對(duì)于LED廠商同時(shí)也在思考設(shè)備營(yíng)運(yùn)成本的最適性。因此Veeco也致力于協(xié)助廠商降低營(yíng)運(yùn)成本。VEECO目前于市面上推出兩款機(jī)臺(tái)，分別為Propel enLight GaN MOCVD Syste系統(tǒng)與EPIK 868提供更好的營(yíng)運(yùn)成本(Cost of Ownership)，因應(yīng)市場(chǎng)需求。Propel enLight GaN MOCVD System可達(dá)到200mm八英寸晶圓片生產(chǎn)，而EPIK 868 可達(dá)到150mm六英寸晶圓片生產(chǎn)。

（圖片來(lái)源：VEECO）

針對(duì)于GaN on Si LED晶圓片生產(chǎn)上， Ajit提到目前最大可采用八英寸GaN on Si LED生產(chǎn)，在3nm 的波長(zhǎng)均勻性下，可達(dá)到90%的生產(chǎn)良率。GaN on Si LED晶圓片生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)為可簡(jiǎn)易移除基板，達(dá)到晶圓黏接 (Wafer Bonding)，搭配QD等色彩轉(zhuǎn)換層即可達(dá)到全彩化的顯示影像。應(yīng)用在為HUD投影市場(chǎng)更能提高相當(dāng)高的分辨率。

Ajit提到，觀察現(xiàn)階段技術(shù)與產(chǎn)品要求，認(rèn)為顯示屏導(dǎo)入Micro LED長(zhǎng)期將可降低制造成本與提高更好的影像顯示效果；其次為車(chē)用抬頭顯示器將可提高亮度與更寬廣的可視角度 (Field of View)，為駕駛者帶來(lái)不同以往的駕駛體驗(yàn)；而擴(kuò)增實(shí)境則可以提供更高的亮度；并且認(rèn)為在75-100英寸以上的電視將會(huì)是導(dǎo)入Micro LED技術(shù)上的甜蜜點(diǎn)；而最后手機(jī)受限于高分辨率與成本因素，將會(huì)是最后的市場(chǎng)機(jī)會(huì)。

VEECO已成功和各國(guó)家廠商合作Micro LED用MOCVD設(shè)備使用，同時(shí)，VEECO因應(yīng)Micro LED產(chǎn)業(yè)，除了MOCVD磊晶設(shè)備，也計(jì)劃朝向不同制程階段上的技術(shù)支援與服務(wù)。（文：Roger, Joanne / LEDinside）

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